两种或以上的气态原料导入到一个反应室内发生化学反应而形成一种新的材料，沉积到晶片表面上的工艺是什么？

两种或以上的气态原料导入到一个反应室内发生化学反应而形成一种新的材料，沉积到晶片表面上的工艺是什么？

选项A：物理气相沉积

选项B：水热法

选项C：化学固相沉积

选项D：化学气相沉积